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荷兰正式限制DUV光刻机出口后,ASML光刻机禁令或再次升级?

文/文学科技社

近些年,老美限制华为的5G芯片,导致华为只能使用4G手机,失去了高端手机市场和苹果竞争的能力。虽然小米和VIVO等国产品牌可以生产5G手机,但芯片都是高通或者三星等厂家的进口货。

华为是5G通信方面的龙头,中国又是5G通信布局最广泛的国家,但我们自己的手机里却没有自己的芯片,就像我们修好了高速公路,但路上跑的都是进口汽车一样,想起来让人憋屈。造成这种局面的根本原因是我国目前还不能自主生产制造5G芯片的高端光刻机。

目前全球的5G手机普遍都采用了7纳米以下的先进制程芯片,但是我国目前生产的光刻机刚刚突破28纳米,离14纳米以下还有一段不小的距离。

摇摆不定的阿斯麦

荷兰的阿斯麦(ASML)是目前全球光刻机企业当之无愧的老大,特别是在14纳米以下先进制程方面,事实上阿斯麦是全球唯一的能生产极紫外(EUV)光刻机的企业。虽然工厂坐落在荷兰,但阿斯麦的大股东其实是老美,技术专利也掌握在老美手中,说白了,阿斯麦是受老美控制的。

老美最初的禁令是针对EUV光刻机的,阿斯麦当时还曾经表示,公司向中国出口的DUV光刻机不受禁令影响。但没过多久,阿斯麦就又表示能不能卖给中国,自己说了不算。之后,出口给中国的DUV光刻机也受到了一定的限制。目前,需要申请许可,才能出口“最先进的浸润式DUV系统”。所谓“最先进”主要是指用于生产14纳米和7纳米芯片的DUV光刻机,而生产28纳米和40纳米的型号则不受影响。

阿斯麦敢于公然出尔反尔,是因为他们把收益重点放在了先进制程上,而且认为中国只需要28纳米以上的成熟制程芯片,即便以后彻底退出中国市场也不是不能接受。

根据阿斯麦的财报显示,2022年第四季度订单额为63亿欧元,其中34欧元来自EUV系统,而且2023年第一季度公司的销售额仍然在增长。

与之相对的是,阿斯麦在中国营销量的下滑。虽然中国大陆是其第三大“客户”,但大陆的销售额在公司年营业额中所占份额从2021年的16%,下降到了2022年的不到15%,换句话说,阿斯麦光刻机在大陆逐渐卖不动了,甚至不排除将来彻底退出中国市场的可能性。不管有没有禁令,大陆市场本就在萎缩,阿斯麦反复不定的态度一方面是因为受到老美的压力,另一方面也很可能是想玩“饥饿营销”,从中国捞上最后一把

中国不怕禁令

不过,正是拜老美、荷兰所赐,中国大陆企业这三年来争分夺秒坚持自主研发,朝着芯片自给自足的目标加倍努力。

目前,中国已经实现了28纳米光刻机和光刻胶的突破,完全“中国制造”光刻机的量产只是时间问题。上海微电子目前已经成功突破了22纳米的关键技术,这和目前阿斯麦的7纳米以下的技术确实还有不小的差距,但却是我国自主研发方面实实在在的进步。

而且中芯国际等中国代工厂更多地把目标瞄向28纳米以上的成熟制程产品。原因是除了高端智能手机使用7纳米以下芯片,电器、汽车、工业设备等产品上需要的大多是成熟工艺芯片,28纳米以上能满足大部分的需求,随着我国新能源汽车和物联网等产业的发展,成熟工艺在中国仍然有相当大的空间。

除了自主研发光刻机,能解燃眉之急的还有日本的光刻机。日本曾经是全球半导体行业的领军者,直到遭到了老美的打击。但是尼康、佳能两家日本光学巨头多年来始终没有放弃对光刻机的研发。这两家企业在低端光刻机领域占有一定份额,而且看准了中国的巨大需求,准备提升相关设备产量。

除了作为低端光刻机的“替补”,佳能还开发了纳米压印技术(NIL),可以不采用EUV光源,生产出5纳米制程的芯片。想要绕开禁令,中国自主研发光刻机也考虑了不采用EUV光源的一些技术,比如量子芯片和光子芯片,在高端芯片领域有可能实现“弯道超车”。

客观来说,中国目前的在光刻机制造方面和国际上最先进的水平有15到20年的差距,需要沉下心来,攻克难关。这些年我国一直在加大半导体方面的投资力度。市场调查机构的数据显示,2022年,我国在半导体行业的投资达到1.4万亿元。但是行业本身高风险、高回报的特点,也导致了不少大量资金投入之后,却换来烂尾工程的事件。比如号称投资超过千亿的武汉弘芯、投资将近600亿的济南泉芯,以及每年几千家消失的芯片企业。攻克难关的道路不是平坦的,但就像人民日报文章所说,这是我们的必经之路,必须“放弃一切幻想”,再难也得搞。

总结:

荷兰阿斯麦一再限制对我国光刻机的出口,先是彻底禁止了EUV光刻机,后来又限制了最先进的DUV光刻机的出口。照此情形发展下去,不排除以后会再次升级禁令,直到彻底退出中国大陆市场。但是,不管有没有所谓的禁令,中国都在逐渐摆脱对阿斯麦一家企业的依赖。而坚持自主研发高端光刻机,实现芯片自给自足是我们不变的终极目标。如果你也同意我的看法,请点赞、关注、评论、转发,谢谢!

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